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ICP電感耦合 等離子體清潔儀NE-Q03H
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產品簡介

等離子體清潔儀(Plasma Cleaner)是一種專用于表面清潔和改性的高精度設備,其核心原理是利用等離子體技術高效去除物體表面的有機或無機污染物,并實現對材料表面特性的優化。該設備通過引入工藝氣體(通常為氫氣、氧氣、氦氣等氣體),在高能電場作用下激發氣體分子,使其電離形成等離子體。這些等離子體由高能電子、離子、自由基和激發態分子組成,具有極高的化學活性。在電場的作用下,等離子體中的活性粒子以高速撞擊待清洗物體的表面,通過與污染物分子發生物理轟擊或化學反應,將其分解為揮發性小分子或直接剝離,從而實現表面的深度清潔。除了清潔功能,等離子體清潔儀還能在一定程度上改變材料表面的物理化學特性。例如,通過選擇不同的工作氣體和處理參數,可以在材料表面引入特定的官能團,從而增強其潤濕性、附著力或生物相容性。這種表面改性功能在微電子制造、光學器件、生物醫學材料等領域具有廣泛的應用價值。

NE-Q03H等離子體清潔儀產品特點:1、自動開關門設計,實現設備真空門的自動開閉,減輕作業員手工操作的動作,保證真空門的密封效果;2、7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示;3、采用質量流量計控制工藝氣體流量,控制更準確;4、支持手動/自動兩種工作模式切換,可存儲多個工藝配方,方便調用,工藝數據可追溯;5、采用45度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

產品參數

型號NE-Q03H
等離子發生器頻率13.56MHz
等離子發生器功率300W(固態射頻電源)
腔體材質石英耐熱玻璃
腔體尺寸(圓形)Φ105×300(D)mm
氣體流量控制器0-300 SCCM(質量流量計)
腔體容積2.5L
工藝氣體2路(氧氣、氬氣等)
控制方式PLC+7寸觸摸屏
外形尺寸552mm(L)×612mm(W) ×520 mm(H)
電源供應220V


應用案例

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