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工藝氣體流量的穩定性對工業型真空等離子清洗機的處理效果具有重要的影響。為了確保清洗效果，大多數工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格。因此，工業型真空等離子清洗機通常采用質量流量控制器來控制工藝氣體流量。

在工業型真空等離子清洗機實際使用過程中，不同的工藝要求需要使用不同流量控制范圍的質量流量控制器。真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間。對于一些大型真空等離子清洗機，還需要使用0~1SLM規格的質量流量控制器。（注意：單位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。) 在選擇通入不同工藝氣體時，建議選擇對應氣體的專用質量流量控制器，以確保輸入氣體的穩定和計量。這是因為不同工藝氣體的分子大小、化學特性等都會對流量控制器的性能產生影響，可能會導致流量誤差和安全隱患。

如果使用傳統的工藝氣體，可以選擇一種氣體作為標準，其中僅需要確保氣體流速的穩定性。要注意的是，對于氫氣（H₂）、四氟化碳（CF4）等特殊氣體，易爆易燃且具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質量流量控制器。這些特殊氣體在實驗過程中具有很高的危險性，一旦泄漏或受到外界刺激，可能會引發爆炸或火災等安全事故。因此，在選擇通入氣體時，必須充分考慮氣體的特性和安全性，以確保實驗操作的安全順利進行。

此外，實驗型真空等離子清洗機機通常對流量控制要求不是很嚴格，因此也可以選用手動浮子流量計。手動浮子流量計操作簡單、價格便宜，對于一些流量變化不大的情況比較適用。

但是，在實驗過程中，由于氣體的不穩定性和不確定性，手動浮子流量計的精度和穩定性可能無法滿足實驗要求，因此在實際應用中，建議選擇專用的質量流量控制器，以確保實驗結果的準確性和安全性。