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實驗型 低溫等離子體處理儀NE-PE25H
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產品簡介

NE-PE25H是一款高配版低溫等離子體處理儀,設備采用MFC質量流量計,可以實現對工藝氣體流量的精確控制,皮拉尼高精密電阻式真空計,具有高精度的測量能力,其精度可以達到0.1%以下,能夠滿足大多數高精度實驗或工業應用的要求?。

低溫等離子體處理儀在材料加工方面應用廣泛,利用等離子體中的高能粒子與材料表面發生物理和化學反應,可以實現對材料表面進行激活、清洗、蝕刻、摻雜等工藝處理。通過等離子體處理可以顯著改善材料的表面性能,比如提高材料表面能、親水性、黏附性能等。

低溫等離子體處理是一種干式改性方法,其具有如下的優勢:(1)作為干式處理方法,可省去濕式處理中的烘干、廢液以及廢氣的處理,節省能源,并對環境和人體無害;(2)通用性和適應性強,能夠對形狀復雜的材料表面進行均勻處理;(3)操作簡單,處理時間短(幾秒到幾分鐘)且效果明顯;(4)改性效果僅發生在材料表面的薄層(幾個埃到微米級),改善材料表面性能的同時不會改變材料基體的性能。

產品參數

型號NE-PE25H
等離子發生器功率1000W
等離子發生器頻率40KHz
腔體容積380(W)*390(D)*170(H)mm; 25L
腔體有效處理空間332(W)×320(D)×30(H)mm
處理層數2層
正負極板間距50mm
腔體材質316鏡面不銹鋼
氣體流量控制MFC 氣體質量流量計精確控制流量, 0-500ml/min
真空測定系統皮拉尼高精密電阻式真空計
工藝氣體通道

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(如需接入腐蝕性氣體,需提前告知)

外形尺寸650mm(L)×649mm(W) ×666 mm(H)
控制方式PLC+7寸觸摸屏
電源供應220V


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